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HMDS真空箱

型号：BPZ-6060MS、BPZ-6090MS、BPZ-6060HV、BPZ-6090HV

用途概况:

HMDS真空干燥箱用于半导体晶圆在进行HMDS预处理工艺中的干燥，通过程序设定，使抽真空-通氮气-抽真空-等实现自动控制，自动实现HMDS预处理工艺过程，用于光刻过程的涂胶工艺。

产品特点:

高真空干燥箱可在洁净环境下使用，满足洁净环境下的高真空，无尘生产工艺，半导体晶圆生产工艺车间使用，用于半导体、电子、医疗卫生、仪器仪表等领域的无氧化干燥工艺；

产品特点

● 采用智能触摸屏控制，温度、真空度、时间等直接设定，菜单式操作，操作维护方便；

● 工作室采用316不锈钢，更好耐酸碱腐蚀，确保产品经久耐用，便于清洁；

● 长方形真空室，使有效容积大，能充分利用空间；

● 弹性双层钢化玻璃门观察工作室内物体，一目了然；

● 箱门闭合松紧可调节，整体成型的合成硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度；

● 增设超温保护温控口，有效的防止温度失控等安全问题；（选配）

● 低噪声专业真空泵，真空控制稳定可靠；（HMDS真空干燥箱）

● 采用内胆加热，箱体内无任何电子元器件，无污染，不易被腐蚀，使用更加安全；

● 采用超高真空泵，能够保证箱体内真空度达1.0×10-4Pa；(高真空干燥箱)

程序控制

● 程序控制操作，可根据工艺需求设定加热、真空度设定、通氮、时间等参数实现自动程序控制，确保每批次烘烤一致性，降低产品的烘烤差异性；

● 具有485通讯接口，可以通过外置软件程序实施查看设备运行状况和程序运行状况，保证设备一直运行在监控当中；

技术规格

※性能参数测试在空载条件下为：环境温度20℃，环境湿度50%RH

注：外壳可定制为304不锈钢材质

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